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便于清理的半导体镀膜设备专利

专利号:201911104183.0

销售价
25000.00
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专利名称:便于清理的半导体镀膜设备

技术领域:金属的镀覆

专利类型:发明专利

IPC主分类号:C23C14/26

申请号:201911104183.0

说明书

一种便于清理的半导体镀膜设备

技术领域

[0001]本发明涉及半导体加工技术领域,具体为一种便于清理的半导体镀膜设备。

背景技术

[0002]半导体材料在使用时有时需要在外部镀上特定材质的膜以对其进行保护,常见的半导体镀膜方法包括PVD镀膜(物理镀膜)、CVD镀膜(化学镀膜)离子镀膜等,而物理镀膜主要利用加热可蒸发的镀膜原料,使其转化成蒸汽,并附着在半导体材料表面,从而达到镀膜的效果。

[0003]现在市面上有各种各样的半导体镀膜设备,但现在市面上的蒸发加热式的半导体镀膜设备不便于清理装载镀膜原料的坩埚,且坩埚大小固定,转动角度固定,难以调整固定半导体元件的高度,对于不同半导体元件适应性较差,且顶部的回收板清理起来较为麻烦,镀膜时对于半导体材料侧壁的处理较为不足,常使得底部镀膜较厚,而侧壁镀膜较薄,并且固定半导体材料的吸盘也不方便跟换,因此市面上迫切需要能改进便于清理的半导体镀膜设备结构的技术,来完善此设备。

发明内容

[0004]本发明的目的在于提供一种便于清理的半导体镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的现有的蒸发加热式的半导体镀膜设备不便于清理装载镀膜原料的坩埚,且坩埚大小固定,转动角度固定,难以调整固定半导体元件的高度,对于不同半导体元件适应性较差,且顶部的回收板清理起来较为麻烦,镀膜时对于半导体材料侧壁的处理较为不足,常使得底部镀膜较厚,而侧壁镀膜较薄,并且固定半导体材料的吸盘也不方便跟换的问题。

[0005]为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种便于清理的半导体膜设备,包括外壳、盖板、第一伸缩杆和加热框,所述外壳的一侧固定有电机,其中,所述外壳的顶部一端设置有第一转轴,所述盖板和外壳之间通过第一转轴相连接,所述外壳内固定有第一挡块,所述外壳内固定有第二挡块,所述第一挡块的上侧放置有顶部回收板,所述第二挡块上连接有连接块;所述电机上连接有转杆,远离电机的所述转杆的一端固定有第一齿轮,所述连接块上连接有连接固定杆,远离连接块的所述连接固定杆的一端设置有连接转轴,所述连接转轴上设置有紧固螺栓组,所述第一伸缩杆和连接固定杆之间通过连接转轴相连接,远离连接转轴的所述第一伸缩杆的一侧连接有紧固旋钮,所述第一伸缩杆上连接有第二伸缩杆,所述第二伸缩杆的一端固定有连接接头,所述连接接头上连接有吸盘连接块,所述吸盘连接块上设置有第一螺纹;所述外壳的底部固定有支撑杆,所述加热框和外壳之间通过支撑杆相连接,所述加热框内设置有加热管,所述加热管上放置有加热坩埚。

[0006]优选的,所述连接固定杆包括第一固定杆、旋转连接轮、第二固定杆、第二齿轮和底部固定杆,所述连接块上连接有第一固定杆,所述第一固定杆的一端固定有旋转连接轮,所述第二固定杆和第一固定杆之间通过旋转连接轮相连接,远离旋转连接轮的所述第二固定杆的一端固定有第二齿轮,所述第二齿轮的一侧固定有底部固定杆。

[0007]优选的,所述第一齿轮垂直于第二齿轮,且转杆和底部固定杆之间通过第一齿轮和于第二齿轮构成齿轮转动连接,并且第一固定杆和第二固定杆之间通过旋转连接轮构成转动连接。

[0008]优选的,所述连接固定杆和第一伸缩杆之间通过连接转轴构成旋转连接,且第一伸缩杆和第二伸缩杆之间通过紧旋钮构成伸缩固定结构。

[0009]优选的,所述连接接头和吸盘连接块之间通过第一螺纹构成螺纹连接,且吸盘连接块位于加热坩埚的上方。

[0010]优选的,所述加热框包括外框、底部隔热板、顶部隔热板、滑槽、滑动隔热板和滑条,所述外框的内部底端固定有底部隔热板所述外框的内部顶端固定有顶部隔热板,所述外框上开设有滑槽,所述外框上连接有滑动隔热板,所述滑动隔热板的一侧固定有滑条。

[0011]优选的,所述滑动隔热板共设置有2块,且滑动隔热板和外框之间通过滑槽和滑条构成滑动连接。

[0012]与现有技术相比,本发明的有益效果是:该便于清理的半导体镀膜设备主要是用于半导体镀膜而设计的:1、此便于清理的半导体镀膜设备用于加热镀膜原料的加热坩埚放置于加热框上的加热管上,当需要清理坩埚时,可用坩埚钳将坩埚取出进行清理,以证清理的干净快捷,清理完成后,只需再将坩埚放回加热管上即可正常使用装置;2、此便于清理的半导体镀膜设备上的加热框的顶部设置有顶部隔热板和滑动隔热板,在良好隔热的同时可以跟换不同宽度的坩埚,以适应不同型号的镀膜半导体元件,并可通过滑动隔热板隔绝加热框内部与加热框外部;3、此便于清理的半导体镀膜设备用于固定半导体镀膜元件的吸盘连接块通过其上的第一螺纹和第二伸缩杆上的连接接头相连接,方便操作人员装卸吸盘连接块,从而根据半导体镀膜元件的需求选择合适的吸盘连接块进行安装;4、此便于清理的半导体镀膜设备将原有的长度固定的用于旋转的转杆设置成了能够伸缩的第一伸缩杆和第二伸缩杆,且第一伸缩杆和第二伸缩杆之间可以通过紧固旋钮进行固定,以方便操作人员对转杆的整体长度进行调整,以适应不同型号的半导体元件;5、此便于清理的半导体镀膜设备将原有的竖直固定的转杆设置成能够通过连接转轴进行一定角度转动的连接固定杆和第一伸缩杆两个部分,并且连接固定杆和第一伸缩杆之间可以通过紧固螺栓组进行紧固,以方便固定不规则的半导体镀膜元件;6、此便于清理的半导体镀膜设备的顶部回收板放置在第一挡块和第二挡块上,用于回收多余的蒸发镀膜原料,并且在外壳的顶部设置有通过第一转轴相连的盖板,操作人员可以打开盖板,以去除顶部回收板,便于回收多余的蒸发镀膜原料;7、此便于清理的半导体镀膜设备的第一伸缩杆和连接固定杆之间可以通过连接转轴进行角度调整,从而使得操作人员根据加工需求调整半导体镀膜元件的加工角度,根据所需将镀膜元件的侧壁部分进行更好的镀膜处理,保证镀膜元件的加工质量。附图说明

[0013]图1为发明结构示意图;图2为本发明连接固定杆结构示意图;图3为本发明吸盘连接块安装结构示意图;图4为本发明加热框内部结构示意图;图5为本发明加热框左视剖面结构示意图。

[0014]图中:1、外壳;2、电机;3、第一转轴;4、盖板;5、第一挡块;6、第二挡块;7、顶部回收板;8、连接块;9、转杆;10、第一齿轮;11、连接固定杆;1101、第一固定杆;1102、旋转连接轮;1103、第二固定杆;1104、第二齿轮;1105、底部固定杆;12、连接转轴;13、紧固螺栓组;14、第一伸缩杆;15、紧固旋钮;16、第二伸缩杆;17、连接接头;18、吸盘连接块;19、第一螺纹;20、支撑杆;21、加热框;2101、外框;2102、底部隔热板;2103、顶部隔热板;2104、滑槽;2105、滑动隔热板;2106、滑条;22、加热管;23、加热坩埚。具体实施方式

[0015]下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

[0016]请参阅图1-5,本发明提供一种技术方案:一种便于清理的半导体镀膜设备,包括外壳1、电机2、第一转轴3、盖板4、第一挡块5、第二挡块6、顶部回收板7、连接块8、转杆9、第一齿轮10、连接固定杆11、连接转轴12、紧固螺栓组13、第一伸缩杆14、紧固旋钮15、第二伸缩杆16、连接接头17、吸盘连接块18、第一螺纹19、支撑杆20、加热框21、加热管22和加热坩埚23,所述外壳1的一侧固定有电机2,其中,所述外壳1的顶部一端设置有第一转轴3,所述盖板4和外壳1之间通过第一转轴3相连接,所述外壳1内固定有第一挡块5,所述外壳1内固定有第二挡块6,所述第一挡块5的上侧放置有顶部回收板7,所述第二挡块6上连接有连接块8;所述电机2上连接有转杆9,远离电机2的所述转杆9的一端固定有第一齿轮10,所述连接块8上连接有连接固定杆11,所述连接固定杆11包括第一固定杆1101、旋转连接轮1102、第二固定杆1103、第二齿轮1104和底部固定杆1105,所述连接块8上连接有第一固定杆1101,所述第一固定杆1101的一端固定有旋转连接轮1102,所述第二固定杆1103和第一固定杆1101之间通过旋转连接轮1102相连接,远离旋转连接轮1102的所述第二固定杆1103的一端固定有第二齿轮1104,所述第二齿轮1104的一侧固定有底部固定杆1105,所述第一齿轮10垂直于第二齿轮1104,且转杆9和底部固定杆1105之间通过第一齿轮10和于第二齿轮1104构成齿轮转动连接,并且第一固定杆1101和第二固定杆1103之间通过旋转连接轮1102构成转动连接,保证可以通过第一齿轮10转动带动第二齿轮1104旋转,所述连接固定杆11和第一伸缩杆14之间通过连接转轴12构成旋转连接,且第一伸缩杆14和第二伸缩杆16之间通过紧固旋钮15构成伸缩固定结构,便于调节第一伸缩杆14和第二伸缩杆16的长度和角度,远离连接块8的所述连接固定杆11的一端设置有连接转轴12,所述连接转轴12上设置有紧固螺栓组13,所述第一伸缩杆14和连接固定杆11之间通过连接转轴12相连接,远离连接转轴12的所述第一伸缩杆14的一侧连接有紧固旋钮15,所述第一伸缩杆14上连接有第二伸缩杆16,所述第二伸缩杆16的一端固定有连接接头17,所述连接接头17上连接有吸盘连接块18,所述吸盘连接块18上设置有第一螺纹19;所述外壳1的底部固定有支撑杆20,所述加热框21和外壳1之间通过支撑杆20相连接,所述加热框21包括外框2101、底部隔热板2102、部隔热板2103、滑槽2104、滑动隔热板2105和滑条2106,所述外框2101的内部底端固定有底部隔热板2102所述外框2101的内部顶端固定有顶部隔热板2103,所述外框2101上开设有滑槽2104,所述外框2101上连接有滑动隔热板2105,所述滑动隔热板2105的一侧固定有滑条2106,所述滑动隔热板2105共设置有2块,且滑动隔热板2105和外框2101之间通过滑槽2104和滑条2106构成滑动连接,保证滑动隔热板2105和顶部隔热板2103将加热框21封闭起来,所述加热框21内设置有加热管22,所述加热管22上放置有加热坩埚23。

[0017]工作原理:在使用该便于清理的半导体镀膜设备之前,首先需要对整个便于清理的半导体镀膜设备进行结构上的简单了解,操作人员先将合适的加热坩埚23放置在加热管22上,滑动滑动隔热板2105,使得滑条2106沿着滑槽2104滑动,使得滑动隔热板2105将加热框21封闭起来,但不覆盖加热埚23,再将镀膜材料固定在吸盘连接块18上,再将吸盘连接块18通过第一螺纹19固定在连接接头17上,松开紧固旋钮15,调节第一伸缩杆14和长度第二伸缩杆16,以适合镀膜元件,再拧紧紧固旋钮15,松开紧固螺栓组13,调整第一伸缩杆14和连接固定杆11的角度,,以适合镀膜元件的要求,在拧紧紧固螺栓组13,即可正常启动装置,此时,电机2带动转杆9和第一齿轮10转动,从而带动第二齿轮1104转动,在旋转连接轮1102的作用下,第一固定杆1101转动,使得镀膜元件转动,而加热管22会加热加热坩埚23,使得镀膜原料蒸发,并会吸附至镀膜元件的表面,并有多余的镀膜原料上升至顶部回收板7上,本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

[0018]尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

权利要求

本发明公开了一种便于清理的半导体镀膜设备,包括外壳、盖板、第一伸缩杆和加热框,所述外壳的一侧固定有电机,所述外壳的顶部一端设置有第一转轴,所述盖板和外壳之间通过第一转轴相连接,所述外壳内固定有第一挡块,所述外壳内固定有第二挡块,所述第一挡块的上侧放置有顶部回收板,所述第二挡块上连接有连接块,所述电机上连接有转杆,远离电机的所述转杆的一端固定有第一齿轮,所述连接块上连接有连接固定杆。该便于清理的半导体镀膜设备可通过滑动隔热板隔绝加热框内部与加热框外部,且方便根据半导体镀膜元件的需求选择合适的吸盘连接块进行安装,并且方便操作人员对转杆的整体长度进行调整,以适应不同型号的半导体元件。

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平台确认收款后,将帮您办理专利购买、专利过户等全流程手续;

平台代购专利失败,将全额退返专利购买费,包括预付款;

专利购买费用

授权未缴费=专利裸价+著录项变更(200元)+登办费(当年年费+5元印花税)+恢复权利请求费1000元(按实收)+委托服务费(200元)+税金(专利裸价+委托服务费)x6%

已下证=专利裸价+著录项变更(200元)+滞纳金(按实收)+恢复权利请求费1000元(按实收)+委托服务费(200元)+税金(专利裸价+委托服务费)x6%

购买费用说明

专利转让费用

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。更多

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,最快多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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